熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要作用是測量和控制氣體質(zhì)量流量。它利用熱擴散原理，通過測量兩個標(biāo)準(zhǔn)RTD之間的溫度差來計算氣體流量。熱式氣體質(zhì)量流量控制器與其他類型的流量控制器在原理、應(yīng)用、優(yōu)缺點等方面存在一些差異。
1.熱式氣體質(zhì)量流量控制器：
熱式流量計基于熱擴散原理，使用兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD，一只用于發(fā)熱，另一只用于測量流體溫度。當(dāng)流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，通過微電子控制技術(shù)轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。這種流量計的優(yōu)點是可自動化集成度高、產(chǎn)品精度好、穩(wěn)定性和重復(fù)性優(yōu)于其他類型的流量控制器。實際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時，控制顯示的數(shù)值與實際不符，原因在于氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（CF）的不同。
2.電磁流量計：
根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律進行流量測量。其優(yōu)點是壓損極小，可測流量范圍大，精確度較高。但它不能測量氣體、蒸汽以及純凈水的流量。
3.渦街流量計：
根據(jù)卡門渦街原理研究生產(chǎn)，用于測量氣體、蒸汽或液體的體積流量和質(zhì)量流量。其特點是壓力損失小，量程范圍大，精度高，不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數(shù)的影響。
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